设计特点

      低压损；厚度薄；高效率；运行成本低；0.1-0.2um粒子捕集效率99.9995%以上

一般应用

      超LSI制造工场、半导体制造工场、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合